【作者】 周成刚;

【作者单位】 上海科学院集成电路制造装备研究中心;

【文献出处】 计算机应用与软件 , Computer Applications and Software, 编辑部邮箱 2010年 10期 

【摘要】 以基于麦克斯韦方程组和边界条件推导出的菲涅尔公式为原始模型,利用Matlab优化程序,以S1813光刻胶为例说明Matlab在计算介质膜反射光谱中的应用。并结合光刻涂胶实验,利用光纤光谱仪获得实际反射光谱,对该方法进行了验证,实验表明,该方法可以准确计算介质膜的反射光谱,并可通过反射光谱求得膜厚值,简便、可靠、具有实用性。